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JD-1200全自動軟軸單晶爐

JD-1200全自動軟軸單晶爐,是軟軸提拉型單晶爐,是在惰性氣體環境中,以石墨電阻加熱器,將一定純度的硅材料熔化,用直拉法生長無位錯單晶的設備,它可生產太陽能光伏電池和大規模集成電路所需要的高質量單晶。該設備最大可使用28英寸的熱系統,最大熔料370kg,拉制10英寸或以下的單晶。由于投料量的增大,產能比JD-1100爐型提高20%以上,是JD-1100型單晶爐的姊妹機型,除具有JD-1100型單晶爐的特性外,從外觀設計、維護維修便利性、自動化程度和各項性能指標等方面,均有很大幅度的提升。

1

型號

JD-1200

2

名稱

單晶硅爐

3

電源電壓

380V

4

電源頻率

50Hz

5

加熱方式、加熱組件

電阻加熱、石墨加熱器

6

主加熱器最大功率

165KW

7

主加熱器最高加熱電壓/電流

55V/3000A

8

輔加熱器最大功率

60KW

9

輔加熱器最高加熱電壓/電流

50V/1200A

10

整機功率

240KW

11

爐內最高溫度

1600

12

冷態爐內極限真空度

3Pa

13

生長晶體的直徑范圍

10

14

熔料重量

Max  370kg

15

原料

多晶硅原料

16

主爐室尺寸

Ф1200×1400mm

17

旋轉閥通徑

¢360

18

副室+操作室尺寸

¢360×4600mm

19

籽晶拉速范圍

0.110mm/min

20

籽晶快速

≥500mm/min

21

籽晶轉速范圍

2-30rmp

22

坩堝升速范圍

0.021mm/min

23

坩堝轉速范圍

1-30rpm

24

籽晶在副室內有效行程

4000mm

25

主機總高

10242mm

26

主機占地面積

2518mm×1700mm

27

整機占地面積

5500mm×6500mm

28

進水量的要求(壓力)

最大0.40Mpa 壓差0.2Mpa

29

冷卻水用量/

>25 m3/h

30

冷卻水進水溫度

25-28

31

氬氣用量/

0.3Mpa~0.7Mpa110L/min


上一個:

下一個: 6英寸碳化硅爐