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JQ-900型區熔單晶體長爐

JQ-900型區熔單晶生長爐是集機、光、電一體化的大型高可靠性、高精度、高自動化的單晶生長設備,整機性能指標達到同類產品國際先進水平。主要生產6-8英寸大規格區熔單晶硅,單晶長度最大可達2500mm, 單晶純度可達99.99999999%,,其晶片主要用于IGBT芯片、可控硅、紅外探測器以及航天航海等尖端科技領域,另外憑其23%的光電轉換效率,我們還可以大膽償試將其用在光伏發電領域。

1.

主爐室

內爐堂直徑[mm]

Φ902X1190高

2

上副室

爐膛直徑[mm]

Φ500 X1800高

3

下副室

爐膛直徑[mm]

Φ500 X2500高

4

上傳動

行程[mm]

2000

主軸轉速[rpm]

0-30±1%

主軸直徑[mm]

100

5

下傳動

主軸行程[mm]

2600

主軸轉速[rpm]

0-30±1%

主軸直徑[mm]

100

內軸行程[mm]

340

6

平動組件

行程[mm]

±25

7

槽路組件

行程[mm]

530

8

反射環

行程[mm]

50

快速移動速度[mm/min]

20

9

預熱環組件

行程[mm]

285

快速移動速度[mm/min]

100

10

制備外形

長X寬X高[mm]

6600X4200X14000

11

真空系統

真空度(mbar)

≤0.01

12

氣路系統

進氣壓力[Ba]

5-12(推薦10)

生長氣流量[L/min]

50

氣體質量

C57-0305,等級4.8

13

冷卻系統

進水壓力[Ba]

4-6

進水溫度[°C]

12-25

進水流量[L/min]

200

物理清潔度[mm]

0.38

14

電器

電源頻率[Hz]

50或60

電壓[VAc]

3X380

發生器輸出功率(kW)

120KW

控制電源(Hz)

50或60

電壓[VAc]

3X380

功率

10KW

進電電源整流濾波

控制系統

西門子S7-300

人機界面控制

Pro-face觸摸屏

CCD監控系統

基恩士

上下傳動移動驅動

Lenze驅動

 

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上一個:

下一個: 6英寸碳化硅爐